面板干刻mura的产生原因_5寸电容触摸屏_ips液晶屏_深圳液晶屏
2021-01-12


在生产面板的过程中,在终端检测总会存在这样那样的mura,今天OLEDindustry带领大家了解一种mura——干刻mura。5寸电容触摸屏


不良描述


在IDE及CHDE后用MMO检查或后端VT检可见有直径2mm,间距为5mm*5mm的白点即为干刻mura。



2下部电极


因电极结构原因,有无Emboss的刻蚀差是一定会有的。5寸电容触摸屏


彩色TFT液晶屏




得到KMAC数据后对数据进行了分析:




通过以上数据可看出,在点状mura处的基底材料残留量相对于其他位置而言较少,相差约为150A左右;其分布较为规律,与DE下部电极上的emboss相对应,有EMBOSS的地方刻蚀量大。


同一张大玻璃上,对目测未发现点状mura的位置进行了KMAC测量,并对所得数据进行了分析。




同一张玻璃上,未发现点状mura的位置,其基底材料残留量也不十分均匀,且厚度分布的模式和有mura处有相同之处(薄-厚交替),只是其变化量大大减少,仅有不到50A左右。5寸电容触摸屏


结论:


由以上分析可以看出,DE下部电极上的emboss,导致整张玻璃上产生了模式相同的刻蚀不均,但对于电极,表面由于长期附作物沉淀,表面emboss也不再均匀,造成其刻蚀不均严重层度不同,较为严重处出现了肉眼可见的mura,较轻微处,mura便不可见。


新电极由于表面无沉积物,刻蚀不均的严重度轻微,mura便不可见。


7寸电容触摸屏


新电极表面清洁,emboss均匀



旧电极表面由于长期附作物沉淀,emboss均匀度也受到影响5寸电容触摸屏


3halftone工艺(D/I工程)





IDE&PRDE recipe




PRDE中的高功率长时间对mura有影响,验证中。


问题点:同样的电极上5mask工艺和4mask(D/I)工艺对于Demura有比较明显的差异,halftone工艺带来的干刻mura现在尚无很好的办法控制。


4下部电极-控制方法5寸电容触摸屏


彩色TFT液晶屏


控制计划:


1.PRDE recipe验证,减少时间对减少mura产生有效果。


2.沟道残膜均一性改善,验证中


3.电极更换频度变更为1年/1次。





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